超聲波銑削系統在超聲波銑削加工中，工具在超聲波高頻振動的同時，還做旋轉運動，同時在CNC系統的控制下，每層做X、Y兩個方向的進給運動。磨料顆粒在工具三種運動的綜合作用下，不斷地錘擊、沖擊、拋磨和刮擦硬脆材料的工件表面。當工具、磨粒和工件沒接觸的時候，材料的去除主要是靠磨粒沖擊作用，工具旋轉運動的作用比較弱：而當三者接觸后，磨粒直接作用于工件表面上，隨著加工的進行，一部分磨粒由于工具壓力的作用，使之壓入工具中，露出的部分刻劃工件的表面，在工具旋轉運動的作用下，劃過圓形軌跡，在工件表面形成弧形凹痕。另一部分磨粒則在工件與工具之間發生滾動，產生滾軋效果，使工件表面產生微裂紋，裂紋擴展后使工件表面產生脆性崩碎形成切屑。